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horiba IGS氣體質(zhì)量流量計(jì)Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-N112系列質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)：1、直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量；2、工作穩(wěn)定可靠；3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬；4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境；5、多種實(shí)時(shí)在線測(cè)控功能；6、可擴(kuò)展性好。

Horiba質(zhì)量流量計(jì)SEC-8000系列特點(diǎn)： 高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn) 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計(jì) 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計(jì)高精度±1.0%設(shè)定點(diǎn)。該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。

horiba流量計(jì)SEC-Z700S可以直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測(cè)量精度為0.2級(jí)，流體測(cè)量管內(nèi)部無(wú)障礙物和活動(dòng)部件，因而可靠性高、壽命長(zhǎng)。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機(jī)臺(tái)、Etch機(jī)臺(tái)中的氣體控制核心部件