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簡要描述:Horiba SEC-Z700質量流量計SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數字式質量流量控制器,是半導體中設備CVD機臺、Etch機臺中的氣體控制核心部件
Horiba SEC-Z700質量流量計SEC-Z714MGX-CS
介紹:
質量流量控制器是一種可直接測量氣體的質量流量并進行流量控制的設備。不因環境溫度和使用壓力等條件的變化而改變,可實現高精度且穩定的流量控制,應用于各種工業領域。
Horiba SEC-Z700質量流量計SEC-Z714MGX-CS
基本特點:
1、直接測量管道內流體的質量流量:測量準確度高、重復性好,可在較大量程范圍內,直接測量流體質量流量。
2、計量的精度高:該流量計的質量流量測量精度為0.2級。
3、工作穩定可靠:流體測量管內部無障礙物和活動部件,因而可靠性高、壽命長。
4、適應的流體介質面寬:除一般粘度的均勻流體外,還可測量高粘度流體(蜂蜜、油漿等);不僅可以測量單一溶液的流體參數,還可以測量多相流;無論介質是層流還是紊流,都不影響其測量精度。
5、廣泛的應用環境:適用于石油化工、化學、冶金、制藥、造紙、食品、能源和環保等行業,在工藝過程的檢測控制和貿易交接計量等場合,獲得了廣泛的應用。
6、多種實時在線測控功:除質量流量外,還可直接測量流體的密度和溫度。智能化的流量變送器,可提供多種參數的顯示和控制功能,是一種集多功能為一體的流量測控儀表。
7、可擴展性好:公司可根據用戶需要,專門設計和制造特殊規格型號和特殊功能的質量流量計;還可進行遠程監控操作等。
HORIBA集團向遍布全球各地的用戶大量提供分析儀器系統及系列產品。應用范圍從汽車發動機尾氣排放檢測的研發到過程及環境監測,體外醫療檢測,半導體制造和計量,涉及范圍從科技研發到質量控制測量。
實踐證明,質量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對HORIBA集團品牌的信任。
半導體事業部以尖銳的目光關注著半導體、FPD、LED、太陽能、光纖等細微世界的發展。由研發專家研究與開發以支持半導體制程工藝中對不同流體控制技術的需求。為滿足不同市場、不同工藝需求,半導體事業部亦能提供切合客戶需求的不同產品以實現匹配工藝需求。
暢銷型號
數字型質量流量控制器: SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGM、SEC-Z532MG、SEC-Z542MG、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z544MG、SEC-Z712MGX、SEC-Z722MGM、SEC-Z732MG、SEC-Z714MGX、SEC-Z724MGM、SEC-Z734MG、
低成本數字型質量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
模擬型質量流量控制器:SEC-E40MK3、SEC-E50MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541。
液體質量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
液體質量流量計LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。