Horiba質(zhì)量流量計 D500
· 壓力不敏感性能
高性能壓力補(bǔ)償新功能簡化了供氣系統(tǒng)
· 多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍
· G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能
*的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內(nèi)完成測試。
· 高精度
*的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度
· 快速響應(yīng)
響應(yīng)時間：< 0.8 秒
可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制
· 動態(tài)范圍
控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程
Horiba質(zhì)量流量計 D500
質(zhì)量流量控制器： 質(zhì)量流量控制器是一種可直接測量氣體的質(zhì) 量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。
不因環(huán)境溫 度和使用壓力等條件的變化而改變，可實(shí)現(xiàn) 高精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè) 領(lǐng)域。
HORIBA 集團(tuán)向遍布全球各地的用戶大量提供具有*水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。
應(yīng)用范圍從汽車 發(fā)動機(jī)尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測，體外醫(yī)療檢測，半導(dǎo)體制造和計量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì) 量控制測量。
實(shí)踐證明，質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對 HORIBA 集團(tuán)品牌的信任。 半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。
由研發(fā)專家展開研究與開發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對不同流體控制技術(shù)的需求。
為滿足不同市場、不同 工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實(shí)現(xiàn)匹配工藝需求。
產(chǎn)品型號：D500系列
更新日期：2024-11-19
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