Yamato雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐

特點

最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于 20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO固 化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內潔凈度始終保持在100級，可 在潔凈的環境下進行高溫烘烤。 高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構保護密封部件免受 熱量影響。 可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢 測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏 電漏電保護開關等安裝裝置。

Yamato雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐

支持各個領域的研究開發以及生產技術的革新、

為科學技術的進步和發展做出貢獻。

作為雅馬拓科學集團的重要一員，不斷向客戶提供最新、最有價值的產品和確保安全、令客戶安心的服務，與集團公司通力合作，積極

拓展集團事業。

為達到目標，本公司以實驗室儀器、實驗室設備、產業機器為產品核心，進行設計開發、生產、銷售和服務，通過建立高效的團隊、先

進的裝備、完善的體制，來向客戶提供優質的產品和服務。

秉承企業的經營理念，所有企業活動都積極配合環境保護活動，以實現公司盈利的同時也能達到環境保護為目標。

1. 遵守環境保護的相關法律

 ?遵守國家環境保護的相關法律和企業對于環境保護制定的相關規定。

2. 以減少環境污染為宗旨，改善作業流程

 ?有效利用資源和能量、減少廢棄物，消除作業過程中的浪費、不合理等現象。

3. 推進以減少環境負荷為宗旨的企業活動

 ?積極推進從設計、采購、生產到銷售、物流、使用、再生、廢棄整個作業流程以降低環境負荷為主的活動。

4. 開發環保型商品和體系

 ?致力于環境保護技術的提高，并且貫穿于整個產品的開發過程，開發環保產品和系統。

5. 環境管理系統的充實與開展

 ?制定環境方針的目的、目標，通過定期的評估達到連續改進和預防污染的效果。

6. 環境方針政策的通知與公開

及時讓公司全體員工了解有關環境保護的方針政策，向全體員工推行“充分理解后再行動"的環境知識普及活動，并且

將公司制定的有關環境保護的方針政策向外界公布。